第1章电子材料概论
1.1电子材料的分类与特点
1.1.1电子材料在国民经济中的地位
1.1.2电子材料的分类
1.1.3电子材料的环境要求
1.1.4电子材料与元器件
1.2无机电子材料
1.2.1晶体的特征
1.2.2同构晶体和多晶型转变
1.2.3固溶体
1.2.4金属间化合物
1.3实际晶体、非晶体和准晶
1.3.1实际晶体
1.3.2非晶态材料
1.3.3准晶体简介
1.4电子材料的表面与界面
1.4.1表面的定义和种类
1.4.2清洁表面的原子排布
1.4.3实际表面的特征
1.4.4晶粒间界
1.4.5相界和分界面
1.5电子材料的应用与发展
1.5.1现代社会对电子材料的要求
1.5.2电子材料的选用原则
1.5.3纳米材料
1.5.4复合材料与梯度功能材料
1.5.5超常材料
1.5.6电子材料的发展动态
复习思考题
第2章电子材料的分析和表征
2.1电子材料化学成分分析方法
2.2电子材料结构分析方法——X射线衍射分析法
2.3电子材料的显微分析法
2.4电子材料表面界面分析技术
2.5扫描探针技术
2.6光谱分析技术
2.7热分析技术
复习思考题
第3章薄膜工艺
3.1真空技术概述
3.1.1真空
3.1.2真空的获得
3.1.3真空的测量
3.2真空蒸发镀膜工艺
3.2.1真空蒸发原理
3.2.2热蒸发
3.2.3脉冲激光蒸发
3.2.4分子束外延
3.2.5其他蒸发镀膜方法简介
3.3溅射镀���工艺
3.3.1直流二极溅射及其原理
3.3.2射频溅射
3.3.3磁控溅射
3.3.4反应溅射
3.3.5离子束沉积
3.3.6溅射沉积技术的特点
3.4化学气相沉积工艺
3.4.1化学气相沉积过程
3.4.2热CVD
3.4.3等离子体CVD
3.4.4光CVD
3.4.5有机金属CVD(MOCVD)
3.4.6表面氧化工艺
复习思考题
第4章厚膜工艺
4.1厚膜浆料
4.1.1厚膜浆料的特性和制备
4.1.2导体浆料
4.1.3电阻浆料
4.1.4介质浆料
4.1.5电感及铁氧体磁性浆料
4.2厚膜图案形成技术
4.2.1丝网印刷
4.2.2其他图案形成技术
4.3厚膜的干燥和烧成
4.3.1干燥
4.3.2烧成
复习思考题
第5章陶瓷工艺
第6章导电材料和电阻材料
第7章超导材料
第8章半导体材料
第9章电介质材料
第10章磁性材料
第11章光电材料与热电材料
第12章敏感材料与吸波材料
第13章电子封装材料
参考文献