薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛,从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、mems、传感器、白光led固体照明、太阳能电池到材料的表面改性等,涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用等4大部分,涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面,知识全面,脉络清晰。《薄膜技术与薄膜材料》共17章,文字通俗易懂,并配有大量图解,每章后面附有习题,有利于对基本概念和基础知识的理解、掌握与运用。本书可作为材料、机械、精密仪器、化工、能源、微电子、计算机、物理、化学、光学等学科本科生及研究生教材,对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员,也具有极为难得的参考价值。

第1章 真空技术基础
1.1真空的基本知识
1.2真空的表征
1.3气体分子与表面的相互作用
习题
第2章 真空泵与真空规
2.1真空泵
2.2真空测量仪器——总压强计
2.3真空测量仪器——分压强计
习题
第3章 真空装置的实际问题
3.1排气的基础知识
3.2材料的放气
3.3排气时间的估算
3.4实用的排气系统