微机械是80年代末出现的一门崭新的学科,被誉为21世纪*具代表性的技术之一。本书共分8章,结合作者近年来的研究工作,系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果,内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构,微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、同传感器、微致动器臁其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器械人等等。本书可供从事微机械研究的科技人员使用,也可供相关学科的师生参考。

绪论
**章 微机械理论的基础
1.1 微机械学
1.2 微动力学
1.3 微电力学
1.4 微光学
1.5 微流体力学
1.6 微热力学
1.7 微摩擦学
1.8 纳米生物学
1.9 分子装配技术
第二章 微机械材料与微结构
2.1 引言
2.2 微机械材料
2.3 微结构与微型智能结构
第三章 微细加工技术
3.1 引言
3.2 硅微细加工技术
3.3 光刻技术
3.4 牺牲层技术
3.5 外延技术
3.6 高能束刻
3.7 LIGA技术
3.8 微细立体光刻技术
3.9 精密放电加工技术与趋精密机械加工技术
3.10 微机械装配与集成
第四章 准分子激光微细加工技术
4.1 引言
4.2 准分子激光器及其工作原理
4.3 直写微细加工的准分子激光束特性
4.4 准分子激光直写微细加工
4.5 准分子激光直写微细加工系统
4.6 准分子激光直写刻蚀基本规律
……
第五章 微检测技术
第六章 微传感器
第七章 微致动器及其它微器件
第八章 典型微型电子机械系统与微机器人
参考文献