集成电路制造向几纳米节点工艺的发展，需要具有原子级保真度的刻蚀技术，原子层刻蚀（ALE）技术应运而生。《半导体干法刻蚀技术：原子层工艺》主要内容有：热刻蚀、热各向同性ALE、自由基刻蚀、定向ALE、反应离子刻蚀、离子束刻蚀等，探讨了尚未从研究转向半导体制造的新兴刻蚀技术，涵盖了定向和各向同性ALE的全新研究和进展。《半导体干法刻蚀技术：原子层工艺》以特定的刻蚀应用作为所讨论机制的示例，例如栅极刻蚀、接触孔刻蚀或3D NAND通道孔刻蚀，有助于对所有干法刻蚀技术的原子层次理解。 《半导体干法刻蚀技术：原子层工艺》概念清晰，资料丰富，内容新颖，可作为微电子学与固体电子学、电子科学与技术、集成电路科学与工程等专业的研究生和高年级本科生的教学参考书，也可供相关领域的工程技术人员参考。

译者序 缩写词表 第1章 引言1 参考文献3 第2章 理论基础5 2.1刻蚀工艺的重要性能指标5 2.1.1刻蚀速率（ER）6 2.1.2刻蚀速率不均匀性（ERNU）6 2.1.3选择性6 2.1.4轮廓6 2.1.5关键尺寸（CD）7 2.1.6线宽粗糙度和线边缘粗糙度（LWR和LER）7 2.1.7边缘放置误差（EPE）7 2.1.8深宽比相关刻蚀（ARDE）7 2.2物理吸附和化学吸附8 2.3解吸9 2.4表面反应11 2.5溅射12 2.6注入16 2.7扩散17 2.8三维形貌中的输运现象21 2.8.1中性粒子输运21 2.8.2离子输运24 2.8.3反应产物输运26 2.9刻蚀技术的分类26 参考文献30 第3章 热刻蚀34 3.1热刻蚀的机理和性能指标34 3.1.1刻蚀速率和ERNU34 3.1.2选择性35 3.1.3轮廓和CD控制35 3.1.4ARDE35 3.2应用示例35 参考文献39 第4章 热各向同性ALE41 4.1热各向同性ALE机制41 4.1.1螯合/缩合ALE43 4.1.2配体交换ALE44 4.1.3转化ALE46 4.1.4氧化/氟化ALE48 4.2性能指标50 4.2.1刻蚀速率（EPC）50 4.2.2ERNU（EPC非均匀性）54 4.2.3选择性55 4.2.4轮廓和ARDE56 4.2.5CD控制59 4.2.6表面光滑度59 4.3等离子体辅助热各向同性ALE60 4.4应用示例60 4.4.1区域选择性沉积61 4.4.2横向器件的形成62 参考文献64 第5章 自由基刻蚀69 5.1自由基刻蚀机理69 5.2性能指标70 5.2.1刻蚀速率和ERNU70 5.2.2选择性71 5.2.3轮廓和ARDE71 5.2.4CD控制71 5.3应用示例71 参考文献73 第6章 定向ALE74 6.1定向ALE机制74 6.1.1具有定向改性步骤的ALE75 6.1.2具有定向去除步骤及化学吸附和扩散改性的ALE75 6.1.3具有定向去除步骤和通过反应层沉积进行改性的ALE86 6.2性能指标89 6.2.1刻蚀速率（EPC）89 6.2.2ERNU（EPC非均匀性）90 6.2.3选择性91 6.2.4轮廓和ARDE95 6.2.5表面平整度和LWR/LER97 6.3应用示例100 6.3.1具有定向改性步骤的ALE100 6.3.2具有定向去除步骤及化学吸附和扩散改性的ALE101 6.3.3具有定向去除步骤和通过反应层沉积进行改性的ALE102 参考文献104 第7章 反应离子刻蚀109 7.1反应离子刻蚀机制109 7.1.1同时发生的物种通量109 7.1.2化学溅射113 7.1.3混合层形成114 7.1.4刻蚀产物的作用117 7.2性能指标118 7.2.1刻蚀速率118 7.2.2ERNU123 7.2.3ARDE124 7.2.4选择性126 7.2.5轮廓控制128 7.2.5.1侧壁钝化129 7.2.5.2刻蚀物种的选择132 7.2.5.3温度132 7.2.6CD控制134 7.2.7表面光滑度137 7.2.8LWR/LER138 7.3应用示例141 7.3.1图案化142 7.3.1.1自对准图案化142 7.3.1.2极紫外（EUV）光刻146 7.3.2逻辑器件148 7.3.2.1Fin刻蚀148 7.3.2.2栅极刻蚀150 7.3.2.3侧墙刻蚀152 7.3.2.4接触孔刻蚀153 7.3.2.5BEOL刻蚀154 7.3.3DRAM和3D NAND存储器156 7.3.3.1DRAM电容单元刻蚀156 7.3.3.2高深宽比3D NAND刻蚀168 7.3.4新兴存储171 7.3.4.1相变存储器（PCM）171 7.3.4.2ReRAM175 参考文献177 第8章 离子束刻蚀185 8.1离子束刻蚀的机理和性能指标185 8.2应用示例186 参考文献188 第9章 刻蚀物种产生189 9.1低温等离子体概述189 9.2电容耦合等离子体194 9.3电感耦合等离子体206 9.4离子能量分布调制208 9.5等离子体脉冲211 9.6格栅源214 参考文献217 第10章新兴刻蚀技术221 10.1电子辅助化学刻蚀221 10.2光子辅助化学刻蚀223 参考文献224