第2版序1
第2版序2
第2版前言
第1版前言
**章 精密和超精密加工技术及其发展展望
**节 发展精密和超精密加工技术的重要性
第二节 超精密加工技术的现状
第三节 超精密加工技术发展展望
复习思考题
第二章 超精密切削与金刚石刀具
**节 超精密切削的切削速度选择
第二节 超精密切削时刀具的磨损和寿命
第三节 超精密切削时积屑瘤的生成规律
第四节 切削���数变化对加工表面质量的影响
第五节 切削刃锋锐度对切削变形、加工表面质量的影响
第六节 金刚石刀具超精密切削中的若干理论问题
第七节 超精密切削对刀具的要求及金刚石的性能和晶体结构
第八节 金刚石晶体各晶面的耐磨性和好磨难磨方向
第九节 单晶金刚石刀具的磨损破损机理
第十节 金刚石晶体的定向
第十一节 金刚石刀具的设计与制造
复习思考题
第三章 精密磨削和超精密磨削
**节 概述
第二节 精密磨削
第三节 超硬磨料砂轮磨削
第四节 超精密磨削
第五节 精密和超精密砂带磨削
复习思考题
第四章 精密和超精密加工的机床设备
**节 精密和超精密机床发展概况
第二节 典型超精密机床的简介
第三节 精密主轴部件
第四节 机床的总体布局和床身导轨
第五节 进给驱动系统
第六节 微量进给装置
第七节 机床运动部件位移的激光在线检测系统
第八节 机床的稳定性和减振隔振
第九节 减少热变形和恒温控制
复习思考题
第五章 精密加工中的测量技术
**节 精密测量技术概述
第二节 测量基准
第三节 直线度、平面度和垂直度的测量
第四节 角度和圆分度的测量
第五节 圆度和回转精度的测量
第六节 激光测量
第七节 自由曲面的测量
复习思考题
第六章 在线检测与误差补偿技术
**节 概述
第二节 在线检测与误差补偿方法
第三节 微位移技术
复习思考题
第七章 精密研磨与抛光
**节 研磨
第二节 抛光
第三节 精密研磨与抛光的主要工艺因素
第四节 精密研磨抛光新技术
第五节 曲面研磨抛光技术
复习思考题
第八章 微细加工技术
**节 微细加_丁技术的出现
第二节 微细加工的概念及其特点
第三节 微细加工机理
第四节 微细加工方法
第五节 集成电路与印制线路板制作技术
复习思考题
第九章 精密和超精密加工的外部支撑环境
**节 空气环境和热环境
第二节 振动环境
第三节 噪声环境
第四节 其他环境
第五节 精密和超精密加工的环境设施
复习思考题
第十章 纳米技术
**节 纳米技术概述
第二节 纳米级测量和扫描探针测量技术
第三节 纳米级加工技术和原子操纵
第四节 微型机械、微型机电系统及其制造技术
复习思考题
参考文献