**章绪论
1.1微机械陀螺的技术分类
1.2微机械陀螺的发展现状
1.2.1压电石英陀螺
1.2.2压电陶瓷陀螺
1.2.3硅微机械陀螺
1.3电容式微机械陀螺的信号处理方法概述
1.3.1驱动电路
1.3.2信号解调处理方法
1.4电容式微机械陀螺中的技术难点
1.5本书主要的研究内容
1.6本书的组织和安排
第二章电容式微机械陀螺的结构设计与加工
2.1电容式微机械陀螺的结构设计
2.2微机械陀螺振动模态研究
2.2.1驱动模态频率的计算
2.2.2检测模态频率的计算
2.3电容式硅微机械陀螺的结构仿真
2.4梳齿电容的计算
2.4.1驱动模态的检测电容
2.4.2检测模态的检测电容
2.5检测模态的电调谐频率的计算
2.6关键工艺的设计
2.6.1微机械陀螺结构加工流程
2.6.2微机械陀螺真空封装罩子的加工工艺
2.6.3真空中硅玻璃键合工艺
本章小结
第三章电容式微机械陀螺信号处理方法的研究及仿真
3.1电容式微机械陀螺闭环驱动的研究
3.1.1上���闭环自振荡的基本原理
3.1.2无自动增益控制的闭环驱动
3.1.3自动增益控制的闭环驱动
3.2电容式微机械陀螺关键信号的推导
3.2.1静电驱动力
3.2.2运动质量块的振动速度
3.2.3哥氏力引起的位移
3.3电容式微机械陀螺角速率信号解调算法的推导
3.3.1信号解调的基本原理
3.3.2干扰信号对信号解调的影响
3.3.3高信噪比解调算法的研究
3.4电容式微机械陀螺的系统仿真
3.4.1闭环驱动过程的仿真
3.4.2角速率解调过程的仿真
3.4.3陀螺在冲击环境中的模拟与仿真
本章小结
第四章电容式微机械陀螺接口电路的设计与仿真
4.1电容式微机械陀螺前置放大电路的设计
4.1.1传统的C/V转换电路的设计与分析
4.1.2改进的C/V转换电路的设计与分析
4.1.3前置C/V转换电路的抗驱动信号干扰的设计
4.2电容式微机械陀螺闭环驱动电路的设计
4.2.1高通滤波电路的设计
4.2.2相移电路的设计
4.2.3限幅电路的设计
4.2.4AGC自动增益电路的设计
4.3电容式微机械陀螺角速率解调电路的设计
4.3.1相位敏感解调电路的设计
4.3.2二阶低通滤波电路的设计
本章小结
第五章电容式微机械陀螺的性能测试
5.1电容式微机械陀螺品质因子的测试
5.1.1品质因子测试的基本原理
5.1.2静电激励一电容检测法
5.1.3机械激励一电容检测法
5.1.4静电激励一位移特性间接检测法
5.2陀螺分辨率的测试
5.3陀螺带宽的测试
5.4AGC静态工作点的选取
5.5陀螺工作状态的测试
5.5.1闭环驱动控制电路中工作状态的测试
5.5.2信号解调电路中工作状态的测试
5.6灵敏度和线性度的测试
5.7带宽和灵敏度的优化
本章小结
附录一电容式微机械陀螺的电原理图
附录二电容式微机械陀螺的SIMULINK仿真的部分代码
参考文献