本书是一部全面、系统地介绍20世纪g0年代以来所形成的微光学理论、微光学元件的*新加工技术、典型的微光学系统和发展趋势的专著。全书可分三部分:**部分阐述微光学元件的设计基础和面浮雕光栅的**衍射理论。第二部分介绍微光学元件的加工技术(第3章到第6章),包括二元光学技术、激光束写技术、电子束写技术、离子扩散技术、热软熔技术、复制?际鹾臀⒚准兜姆庾凹际酰辉诘?7章介绍平面集成自由空间光学的基础上,提出了(第8章)三维集成层叠光学的概念。第三部分给出了激光束调制成形微光学系统、形成点源阵列微光学系统、同时消热和消