硅基集成芯片制造工艺原理拾光::有路网

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店主称呼：拾光联系方式：

15974791540 地址：湖南省长沙市望城区书堂山
促销广告：正版二手八五成新左右，多仓发货，多本可优惠，可开发票，急单慎重，最好先咨询。

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多本书籍多仓寄出，请耐心等待，有问题最好电话或者短信联系。

电话或微信:15974791540

发布时间：2023年09月18日

店铺介绍

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入驻时间：2021年07月03日

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书名：硅基集成芯片制造工艺原理

作/译者：李炳宗,茹国平,屈新萍,蒋玉龙出版社：复旦大学出版社

出版日期：2021年11月
ISBN：9787309149951 [十位：7309149955]
页数：--
定价：￥298.00
店铺售价：￥249.00 （为您节省：￥49.00）
店铺库存：6 本
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评论人

订单图书

100分
满分

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[2024-12-27 16:06:24]

李**
南宁市

高等土力学(第2版) ￥41.80
100分
满分

确认收货后30天未评价，系统默认好评！
[2024-12-26 21:25:17]

黄*
泉州市

余华中短篇小说-(全6册) ￥43.60
100分
满分

确认收货后30天未评价，系统默认好评！
[2024-12-26 17:20:33]

赵**
无锡市

血酬定律:中国历史上的生存游戏￥36.50
100分
满分

确认收货后30天未评价，系统默认好评！
[2024-12-23 19:13:32]

吴**
张家口市

国企老总-官场小说￥11.70
100分
满分

确认收货后30天未评价，系统默认好评！
[2024-12-23 16:50:27]

季*
苏州市

流血的职场￥6.70

《硅基集成芯片制造工艺原理》内容提要：

自1958年集成电路诞生以来，硅基集成芯片制造技术迅速发展，现今已经进入亚5nm时代。硅基芯片制造技术可以概括为一系列微细加工硅片技术，这些愈益精密的微细加工技术持续创新与升级，源于20世纪初以来现代物理等物质科学知识的长期积累。充分了解各种微细加工技术背后的科学原理，是理解和掌握集成芯片制造工艺技术的基础。全书共20章。前8章概述硅基集成芯片从小规模到极大规模集成的创新演进路径，分析集成芯片制造技术快速升级换代的独特规律，研判器件微小型化技术与摩尔规律的内在联系，并对半导体物理和晶体管原理基础理论知识作概要讨论。后12章分别阐述热氧化、硅单晶与外延生长及SOI晶片、精密图形光刻、扩散掺杂、离子注入与快速退火、PVD与CVD及ALD薄膜淀积、高密度等离子体刻蚀、金属硅化物自对准接触和多层金属互连等多种集成芯片微细加工关键技术，着力分析讨论各种微细加工技术的物理、化学基础原理与规律，其间对制造工艺中广泛应用的真空技术与等离子体技术作概要介绍。本书特别关注进入21世纪以来正在发展的集成芯片制造技术的新结构、新材料、新工艺和新趋势，介绍包括高密度超微立体晶体管和纳米CMOS等集成器件的典型