本书为高等工科院校“精密仪器设计”课教材,对与精密仪器设计有关的基本理论和方法及微型机电系统作了较全面系统的论述,荟萃了现代精密仪器的有关资料和科研成果,反映了该学科领域的当代发展水平。
全书共分11章,包括现代精密仪器概论、精密仪器总体设计、精密仪器设计的精度理论、精密机械系统、微位移技术、光学系统设计、定位与测量系统、瞄准与对准系统、自动调焦系统、精密机械伺服系统设计、微型机电系统。
本书适用于测控技术与仪器、光学工程及机电类专业在专院校师生和从事仪器科学与技术及机电类形容、设计、制造、调修的工程技术人员学习和参考。

一、现代精密仪器设计概论
1.1 概述
1.2 现代精密仪器的基本组成
1.3 现代精密仪器设计的指导思想、原则与程序
思考题
二、精密仪器总体设计
2.1 设计方法概述
2.2 设计任务分析
2.3 主要参数与技术指标
2.4 总体方案的制定
思考题
三、精密仪器设计的精度理论
3.1 仪器精度理论中的若干基本概念
3.2 仪器误差的来源与分析
3.3 仪器误差的计算分析方法
3.4 仪器误差的综合
3.5 仪器精度设计与误差分配
3.6 仪器的动态精度
思考题与习题
四、精神机械系统
4.1 基座与支承件
4.2 精密x-y工作台
4.3 主轴系统
思考题与习题
五、微位移技术
5.1 概述
5.2 压电、电致伸缩器件
5.3 电磁控制的微动工作台
5.4 柔性铰链
5.5 精密微动工作台的设计及其特性分析
5.6 其他类型的微位移机构
思考题与习题
六、光学系统设计
6.1 概述
6.2 光辐射源及特片
6.3 信噪比的计算方法
6.4 光学系统基本参数的确定
6.5 光电系统中参数的确定
6.6 总体设计举例
思考题与习题
七、定位与测量系统
7.1 概述
7.2 光栅定位测量系统
7.3 激光干涉定位测量系统
7.4 其他编码器
思考题与习题
八、瞄准与对准系统
8.1 接触式瞄准方法
8.2 非接触式瞄准方法
8.3 光电自动对准系统
思考题与习题
九、自动调焦系统
十、精密机械伺服系统设计
十一、微型机电系统
参考文献