出版日期：2010年01月
ISBN：9787312024689
[十位：7312024688]
页数：370
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泉州市
《微机电系统工程基础》内容提要：
本书主要介绍相关的工程基础知识。本书共11章,较为详细介绍了半导体制作工艺、执行器、微系统的工作原理及制作方法和应用范围、各种新发展的微检测技术、微系统设计等,还**介绍了微机电系统的固体力学、微流体力学和微尺度传热的基本知识,分析了微系统中的工程特点等。
《微机电系统工程基础》图书目录：
前言
第1章 微机电系统概述
1.1 引言
1.1.1 多年来的期盼
1.1.2 发生在20世纪90年代的故事
1.2 小机械,大机会
1.2.1 三十年的积累
1.2.2 **个丰收的季节
1.2.3 微型科技发展的动力
1.2.4 小机械包含着大课题
1.3 什么是微机电系统
1.3.1 微机电系统的定义
1.3.2 微机电系统的尺寸
1.3.3 微型机械与微电子和普通机械的差异
1.4 本书内容
1.5 有关的刊物、会议和网站
参考文献
第2章 微机电系统的制作(上)
2.1 引言
2.1.1 微细机械加工的特点
2.1.2 关于加工单位的概念
2.1.3 常用的微细加工方法的分类
2.2 微型机械中使用的ic工艺
2.2.1 ic工艺的概况
2.2.2 ic工艺的主要步骤
《微机电系统工程基础》作者介绍：
姓名:王琪民 刘明侯 秦丰华著
作者简介:
作品:《微机电系统工程基础》