第1章半导体材料的基本性质
作为一名信息社会的大学生,尤其是应用物理、微电子学、微电子技术、计算机科学、电子工程与技术、材料科学、自动控制、电机工程、通信等专业的本科生和研究生,可能会问为什么要学习半导体物理与器件?答案很简单,其一,自1998年以来,以半导体器件为基础的电子工业已发展成为世界上规模*大的工业;其二,当你们拥有半导体器件*基本的知识后,对深入理解和应用电子学的相关课程帮助很大,从而使你们对现在这个由电子技术发展而来的信息时代贡献会更大。
半导体物理学是半导体器件物理的基础,为此《半导体物理与器件》首要概括叙述半导体物理学的基本内容,着重介绍半导体材料的基本特性及其与器件原理相关的概念和结论。本章以3种*重要的半导体材料:硅(si)、锗(Ge)、砷化镓(GaAs)为对象,介绍半导体的晶体结构,在此基础上简要论述能带理论;求出热平衡条件下本征半导体的载流子浓度;介绍杂质半导体及其相关特性;叙述非平衡载流子的产生、复合与寿命;对半导体中载流子的漂移运动和扩散运动进行讨论,并建立起连续性方程,为第2章PN结及全书的内容奠定基础。
1.1半导体与基本晶体结构
1.1.1半导体
自然界中的物质大致可分为气体、液体、固体、等离子体4种基本形态。因晶体管、集成电路均为固体器件,所以我们关注的是固体材料。对于固体材料,若按结构形式可分为晶体与非晶体两类,而晶体又可分为单晶体和多晶体两种。目前用来制造半导体器件的典型半导体材料硅、锗、砷化镓还必须是单晶体。除此之外,对于固体材料,若按它们的导电能力则可以分为导体、绝缘体和半导体3种。 20世纪50年代晶体管诞生以来,微电子学及其相关技术迅速发展,现已成为整个信息时代的标志与基础。以半导体器件为核心的电子工业,从1998年开始,已发展成为世界上规模*大的工业。发展电子工业是弱国变为强国的必由之路,显然培养该专业及相关专业的人才是柑当重要的。编著本书的目的正是为各高校近年来新增设的电子信息类专业及其相关的电子科学与技术等专业服务的。
《半导体物理与器件》可作为半导体、微电子学、微电子技术、应用物理等专业本科生的必修教材,也可作为其他相关专业如电子学、计算机、自动控制、电子信息与工程乃至文科各专业本科生、研究生的选修教材或自学参考书,同时也可供从事半导体器件设计、制造和应用等信息技术领域的科研与工程技术人员阅读与参考。
本书从系统性和相对独立性考虑,在内容的选取和编排上力求实用。第l、2章介绍了半导体的基本性质和PN结机理与特性,这是半导体物理的基本知识,可单独作为选修半导体物理教材使用,同时又是后续章节内容的基础。第3、4章主要介绍了双极型晶体管和MOS场效应晶体管,这是半导体器件中*典型、*普及和*具有代表性的器件,**阐述了这两类器件的基本工作原理、特性和电学参数。为有助于初学者对半导体器件理论的理解和掌握,同时增强对微电子学领域的感性认识,培养学习兴趣,本书第5章介绍了半导体器件制备技术,并涵盖了新技术及发展趋势。第6章简明扼要地介绍了Ga在SiO:/Si结构下的开管掺杂及其在半导体器件中的应用,这是作者希望通过本教材的出版,将多年从事微电子技术科研和应用方面的体会与大家交流,唤起业内人士对新成果的关注和应用。
本书本着突出**、通俗易懂的原则,叙述的**放在了基本概念、基本工作原理和性能参数的物理意义上,着重阐述半导体中载流子在各种不同工作条件下的运动过程和变化过程,尽可能地用浅显易懂的语言表述复杂的道理,而又不失其精髓。同时,省略了烦琐的数学推导,从而使内容更精练、**更突出。在每章后附有本章小结和与内容相配套的思考题与习题。本书后有附录,附录A是本书的主要符号表,附录B是物理常数表,附录c是锗、硅、砷化镓主要物理性质表,附录D是求扩散结杂质浓度梯度的图表和方法。本书各章内容可以单独选择或任意组合使用。
本书参考学时为90学时,可根据具体情况由老师任意选择或相互组合使用。
本书由北京交通大学尹逊和博士担任主审,审阅了书稿,付出了大量的精力和劳动,并提出了许多宝贵的意见和建议,在此表示衷心的感谢。
在本书的编写过程中,参阅了许多的教材与著作,从中汲取了不少有益的内容和叙述方法,在此向作者们深表谢意。
由于作者水平有限,书中难免存在一些不足、不妥或有误之处,恳请有关专家和读者批评指正。